OMEGA FMA6600 and FMA6700多參數(shù)質(zhì)量流量計

產(chǎn)品描述

高、低氣體流量報警限值可通過鍵盤預(yù)先編程或通過數(shù)字接口遠(yuǎn)程編程。當(dāng)當(dāng)前流量讀數(shù)等于或高于/低于高、低報警水平的相應(yīng)值時，報警條件變?yōu)檎妗缶瘎幼骺芍付A(yù)設(shè)的延遲間隔（0-3600秒），以激活觸點閉合器（高報警和低報警分開）。壓力報警（FMA6700系列）高和低氣體壓力報警限值可通過鍵盤或通過數(shù)字接口遠(yuǎn)程編程。當(dāng)當(dāng)前壓力讀數(shù)等于或高于高壓報警設(shè)置的相應(yīng)值或等于或低于低壓報警設(shè)置的相應(yīng)值時，壓力報警條件變?yōu)檎妗？梢灾付▓缶瘎幼鱽砑せ钣|點閉合器（高壓和低壓報警分開）。溫度報警（FMA6700系列）高和低氣體溫度報警限值可通過鍵盤或通過數(shù)字接口遠(yuǎn)程編程。當(dāng)當(dāng)前溫度讀數(shù)等于或高于高溫報警設(shè)置的相應(yīng)值或等于或低于低溫報警設(shè)置的相應(yīng)值時，溫度報警條件變?yōu)檎妗？梢灾付▓缶瘎幼鱽砑せ钣|點閉合器（高溫和低溫報警分開）。

工程單位

流量設(shè)定點、測量氣體流量和相關(guān)累加器數(shù)據(jù)通過前面板鍵盤或數(shù)字接口以工程單位直接縮放。支持以下度量單位：%F.S.，L/min，L/h，mL/min，mL/h，SCFH，SCFM，LbPH，LbPM，用戶定義的EU。

多氣體校準(zhǔn)

FMA6600系列能夠存儲多達(dá)10種氣體的主要校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。此功能允許對同一FMA6600系列進行多種氣體校準(zhǔn)，同時保持每種氣體的額定精度。

標(biāo)準(zhǔn)10點NIST校準(zhǔn)

可選擇最多9個額外的10點校準(zhǔn)，每種氣體可額外收費。

換算系數(shù)

FMA6600和FMA 6700系列中存儲了多達(dá)32種氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。此外，還規(guī)定了用戶定義的換算系數(shù)。轉(zhuǎn)換系數(shù)可通過鍵盤或數(shù)字接口命令應(yīng)用于十種氣體標(biāo)定中的任何一種。

觸點閉合

提供兩組干觸點繼電器輸出，以啟動用戶提供的設(shè)備。這些可通過本地鍵盤或數(shù)字接口編程，以便在發(fā)生指定事件時（例如，當(dāng)超過低或高流量、壓力或溫度報警限值或當(dāng)累加器達(dá)到指定值時），繼電器可以切換。

泄漏完整性

1 x 10-9 sccs的氦氣，最大可輸送至外部環(huán)境。

FMA6600/FMA6700傳感器不應(yīng)用于監(jiān)測氧氣，除非專門為此類應(yīng)用清潔和準(zhǔn)備。訂購詳情見下文。

規(guī)格

準(zhǔn)確度：

FMA6700：±FS的1%，包括線性[0到50°C和0.35至6.8 bar（5至100 psia）]

FMA6600：±校準(zhǔn)條件[101 KPa（14.7 psia）和21.1 psi]下FS的1%°C（70）°F） ]

壓力范圍：0至6.8 bar（100 psig）（測量）

壓力精度：±FS的1%

溫度范圍：0至50°C（測量）

溫度精度：±1°C

重復(fù)性：±滿量程的0.15%

響應(yīng)時間：單位在1.0秒時達(dá)到10 LPM，單位在2秒時超過10 LPM±設(shè)定值的2%超過滿標(biāo)度的25%至100%

臨時雇員。系數(shù)：滿量程的0.15%/°C或更好

壓力系數(shù)：滿量程的0.01%/psi（0.07 bar）或更高

最大氣體壓力：6.8 bar（100 psig

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