5位半6517B靜電計(jì)/高阻表 KEITHLEY

　吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表提供的精度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測量高阻和絕緣材料電阻率變得 簡單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測試速率，比同 類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡易的弱電流測量能力測量弱電流。

　　出眾的性能指標(biāo)

　　半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、測量范圍寬6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：

　　? 電流測量范圍：1fA - 20mA

　　? 電壓測量范圍：10μV - 200V

　　? 電阻測量范圍：50Ω - 1016Ω

　　? 電荷測量范圍：10fC - 2μC

　　改進(jìn)的高靈敏度測量

　　許多測試應(yīng)用要求測量高級(jí)別材料的電阻率(面電阻率和體電阻率)。傳統(tǒng)測 量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測量，但利用 吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測量。

　　.即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利 6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題，并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測量，特別是與8009型電阻測試夾具一起使用時(shí)。

　　變換極性法

　　6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電流。并剔除背景電流的第一級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在指定延遲(測量時(shí)間)后測量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過程，并根據(jù)4個(gè)最新電流測量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻(或電阻率)測量結(jié)果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復(fù)度，可對1mm厚的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測量，在15秒測試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

　　吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表優(yōu)點(diǎn)

　　?電阻測量可達(dá)1016 Ω

　　?電流測量范圍1fA - 20mA

　　?最小電流量程輸入端壓降<20μV

　　?200TΩ 輸入阻抗

　　?<3fA 偏置電流

　　?測試速率高達(dá) 425 rdgs/s

　　?噪聲0.75fA p-p

　　?內(nèi)置±1kV電壓源

　　?獨(dú)特的高電阻測量電壓反接方法

　　?可選的插件式

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