KEITHLEY 4200-SCS型半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)

keithley吉時利4200-SCS的I-V特性測量：

keithley吉時利4200-SCS系統(tǒng)實現(xiàn)I-V測量功能的核心單元是SMU (源測量單元) ;

SMU集4種功能于- -體:電壓源、電壓表、電流源、電流表;

可以向器件提供驅(qū)動電壓同時測量電流，也可以向器件提供電流并測量電壓;

圖形化的KITE軟件可以輕松地設(shè)定測試條件，設(shè)定電壓或電流，被測點數(shù)，保護(hù)電壓或電流值，完成各種I-V參數(shù)測試;

SM的數(shù)量與被測器件的端口數(shù)有關(guān)，原則上有幾個端口，就要配幾個SMU。

一般來說，keithley吉時利4200-SCS系統(tǒng)的最基本的組成部分就是I-V部分，I-V測 試是最基本，最核心的測試內(nèi)容，C-V測試，乃至脈沖I-V的測試都是其擴(kuò)展部分，根據(jù)用戶的經(jīng)費情況和研究的器件類型。來對這個系統(tǒng)進(jìn)行配置。

吉時利4200-SCS型半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)主要特點及優(yōu)點：

●直觀的、點擊式Windows操作環(huán)境

●獨特的遠(yuǎn)端前置放大器，將SMU的分辨率擴(kuò)展至0.1fA

●用于高級半導(dǎo)體測試的新型脈沖與脈沖式I-V功能

●集成了示波與脈沖測量功能的新型示波卡

●內(nèi)置PC提供快速的測試設(shè)置、強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析、制圖與打印、以及測試結(jié)果的大容量存儲

●獨特的瀏覽器風(fēng)格的軟件界面，根據(jù)器件的類型來安排測試，可以執(zhí)行多項測試并提供測試序列與循環(huán)控制功能

●內(nèi)置了Stress/Measure，循環(huán)和數(shù)據(jù)分析功能，通過鼠標(biāo)點擊方式就可進(jìn)行可靠性測試，包括5個JEDEC規(guī)范的樣品測試

●支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關(guān)矩陣與Agilent 81110脈沖發(fā)生器等多種外圍設(shè)備

●硬件由keithley交互式測試環(huán)境（KITE）來控制，用戶測試模塊功能，可用于外接儀表控制與測試平臺集成，是KITE功能的擴(kuò)充

●包括驅(qū)動軟件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自動和手動探針臺

●支持先進(jìn)的半導(dǎo)體模型參數(shù)提取，包 括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

keithley吉時利4200-SCS型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)用于實驗室級的器件直流參數(shù)測試、實時繪圖與分析，具有高精度和亞fA級的分辨率。keithley吉時利4200-SCS提供了最先進(jìn)的系統(tǒng)集成能力，包括完整的嵌入式PC機(jī)，WindowsNT操作系統(tǒng)與大容量存儲器。其自動記錄、點擊式接口加速并簡化了獲取數(shù)據(jù)的過程，這樣用戶可以更快地開始分析測試結(jié)果。

KEITHLEY吉時利4200-SCS 相關(guān)應(yīng)用：

●半導(dǎo)體器件

●片上參數(shù)測試

●晶圓級可靠性

●封裝器件的特性分析

●使用Model4200-SCS控制外部LCR表進(jìn)行C-V、I-V特性分析

●高K柵電荷俘獲

●易受自加熱效應(yīng)影響的器件和材料的等溫測試

●電荷泵方法分析MOSFET器件的界面態(tài)密度

●電阻式或電容式MEMS驅(qū)動特性分析

●光電器件

●半導(dǎo)體激光二極管DC/CW特性分析

●收發(fā)模塊DC/CW特性分析

●PIN和APD特性分析

●科技開發(fā)

·碳納米管特性分析

●材料研究

●電化學(xué)

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